湛江172nm准分子灯晶圆清洗

在工业应用中，常用的准分子波长是 172 nm。其 7.23 eV 的能量足以直接裂解**分子的所有主要键，但碳和氧 (C=O) 之间的键和一些无机氧化物之间的键除外。这使其成为表面改性、光清洗、光固化的选择。
准分子灯被称为紫外线的冷源，因为与传统的紫外线灯（如汞灯）相比，准分子灯的表面保持在相对较低的温度。由于介质不需要加热，准分子灯在打开后几乎立即达到峰值输出。
稀有气体和稀有气体卤化物准分子灯通常在紫外(UV)和真空紫外(VUV)光谱区。它们特的窄带发射特性、高**效率和高能光子使其适用于吸收光谱、紫外线固化、紫外线涂层、消毒、臭氧产生、气态**废物破坏、光刻和光刻等应用。沉积和更多其他应用。

准分子灯的优点
准分子灯相对于其他紫外线和真空紫外线源的主要优点如下：
紫外线的高平均比功率（每立方厘米活性介质高达1瓦特）；
发射光子的高能量（从3.5到11.5eV）；
半高光谱全宽为2至15nm的准单色；
紫外线的高功率光谱密度；
为特定目的选择紫外线的xxx光谱波长；
由于多种工作准分子的同时激发，多波紫外线的可用性；
没有可见光和红外；
即时实现操作模式；
面发热低；
不含汞。

准分子光源作用原理
基于准分子光源特点，我们来看看准分子光源是如何产生作用的。以准分子波长172 nm为例，紫外线照射固体表面后，表面的污染物**分子结合被强的光能切断、氧化，而后分解成氧气和氢气等易挥发性物质，终挥发消失，被清洗后的表面清洁度高。
1、打破分子键
打破**物质的分子键的能量需要**过物质结合能的光能，同时物质的能量吸收（激发）越大，越容易引发反应（分解）并且所需的处理时间越短。因此使用低压紫外线灯无法打破的结合能可以使用准分子灯产生的 172nm 波长进行分解。
2、大量产生激发态氧原子
准分子紫外线灯与传统汞紫外线灯比较，光强**大，靶向准，无汞制造，绿色环保，可回收，没有二次污染。与低压紫外灯的185nm波长相比，准分子灯172nm波长的分子氧吸收系数大20倍左右。这不仅可以产生高密度的活性氧，而且通过直接作用于氧气，可以产生具有强大氧化能力的强激发氧。

172nm准分子灯的特点：
1、红外线发生量少，低温照射;
2、可瞬间点灯，节省待机准备时间;
3、放电管内不充入汞等有害物质，对环境不产生影响;
4、波长短，发光效率高，可产生高能光子，打破分子键，实现光清洗以及光改性；我们拥有好的设计团队，可根据您的现有设备定制功率、长度和直径，选取优良材料制造，质量严格把关。
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