紫外线准分子灯波长短,比低气压UV放电管具有更快的处理速度和更广泛的**物处理对象;波长单一,波长范围窄,172正负10nm,发光效率高。红外线发生量少,温度低,对产品影响小;可瞬间点灯,省去待机准备的时间;照射的同时可进行除静电处理;放电管内不充入汞等有害物质,对环境不产生影响。
准分子灯照射uv涂料消光原理?
破坏涂膜的光滑性,增大涂膜的表面微观粗糙度,降低涂膜表面对光线的反射。
UV准分子放电灯,又称紫外线准分子灯,是利用在紫外线灯管外的高压、高频对灯管内的稀有气体进行轰击发出单一的172nm紫外线,光子能量达696KJ/mol,**绝大多数**分子键能。利用其单一的高强紫外线,可实现很好的半导体、液晶屏制造中的光清洗、光改性,处理效果好,速度快。
准分子是一种在激发态结合而基态离解的受激二聚体。准分子激光的跃迁发生在束缚的激发态到排斥的基态,属于束缚 – 自由跃迁。其特点是基态不稳定,一般在振动弛豫时间内便分解为自由粒子,而其激发态以结合的形式出现并相对稳定,以的形式衰减,因而准分子激光具有高增益的特点。准分子激光器是紫外波段大能量激光光源,是一种脉宽为几十纳秒的紫外气体激光器。由于具有光子能量高、波长短、空间相干性低(不易产生干涉条纹)等一系列优势,准分子激光是目前有效、适合大规模工业生产的深紫外光源,在集成电路光刻、医疗、材料加工、科研等领域具有广泛的应用。
准分子光源特点
1、单色性好,紫外输出能量集中,紫外输出强度高,可达100mW/cm²;
2、非相干光有利于大面积加工;
3、无传统光源固有的电腐蚀现象,使用寿命大加长;
4、可随时瞬间开启熄灭,不用预热,开关次数不影响使用寿命;
5、开启和运行不受周围环境温度影响;
6、冷光源,不产生红外输出,对被处理对象无明显加热效应,适用于热敏材料处理;
7、绿色环保,制造不需用汞,没有二次污染和废旧回收处理问题。
准分子光源作用原理
基于准分子光源特点,我们来看看准分子光源是如何产生作用的。以准分子波长172 nm为例,紫外线照射固体表面后,表面的污染物**分子结合被强的光能切断、氧化,而后分解成氧气和氢气等易挥发性物质,终挥发消失,被清洗后的表面清洁度高。
1、打破分子键
打破**物质的分子键的能量需要**过物质结合能的光能,同时物质的能量吸收(激发)越大,越容易引发反应(分解)并且所需的处理时间越短。因此使用低压紫外线灯无法打破的结合能可以使用准分子灯产生的 172nm 波长进行分解。
2、大量产生激发态氧原子
准分子紫外线灯与传统汞紫外线灯比较,光强**大,靶向,无汞制造,绿色环保,可回收,没有污染。与低压紫外灯的185nm波长相比,准分子灯172nm波长的分子氧吸收系数大20倍左右。这不仅可以产生高密度的活性氧,而且通过直接作用于氧气,可以产生具有强大氧化能力的强激发氧。
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主要经营广东准分子光电科技有限公司172nm准分子灯JSR自1979年4月开始销售光刻胶以来,以满足半导体行业的需求为宗旨,40多年来不断的向**客户提供着提供光刻材料、CMP材料和封装材料。 JSR在致力于解决**客户问题的同时,半导体材料的销售额也随之稳步增长。 我们将继续以在日本开发的技术为基础,应对各种半导体工艺上的课题挑战,为半导体市场的增长做出重大贡献。
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