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广东准分子光电科技有限公司172nm准分子灯JSR自1979年4月开始销售光刻胶以来,以满足半导体行业的需求为宗旨,40多年来不断的向**客户提供着提供光刻材料、CMP材料和封装材料。 JSR在致力于解决**客户问题的同时,半导体材料的销售额也随之稳步增长。 我们将继续以在日本开发的技术为基础,应对各种半导体工艺上的课题挑战,为半导体市场的增长做出重大贡献

安顺172nm准分子灯表面质改
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产品描述

波长172nm 长度50-2500mm 管径15-44mm 强度50-100mw/cm2 寿命1500-2000小时 功率20-2500瓦 冷却方式水冷/气冷 氮气吹扫可选
172 nm波长的准分子灯可以直接破坏基板表面上的分子键,其残留物保留在表面上。在准分子模块与基板之间的气隙中,被 172 nm 激发后会产生高能氧自由基和臭氧。
172nm准分子灯的特点:
1、红外线发生量少,低温照射;
2、可瞬间点灯,节省待机准备时间;
3、放电管内不充入汞等有害物质,对环境不产生影响;
4、波长短,发光效率高,可产生高能光子,打破分子键,实现光清洗以及光改性;我们拥有好的设计团队,可根据您的现有设备定制功率、长度和直径,选取优良材料制造,质量严格把关。
安顺172nm准分子灯表面质改
准分子灯的优点
准分子灯相对于其他紫外线和真空紫外线源的主要优点如下:
紫外线的高平均比功率(每立方厘米活性介质高达1瓦特);
发射光子的高能量(从3.5到11.5eV);
半高光谱全宽为2至15nm的准单色;
紫外线的高功率光谱密度;
为特定目的选择紫外线的xxx光谱波长;
由于多种工作准分子的同时激发,多波紫外线的可用性;
没有可见光和红外;
即时实现操作模式;
面发热低;
不含汞。
安顺172nm准分子灯表面质改
在紫外光谱区发射的光源广泛用于涉及光化学过程的技术,例如油墨、粘合剂、清漆和涂层的固化、光刻、电介质的紫外诱导生长、紫外诱导表面改性和清洁或材料沉积。非相干紫外源与激光源相比具有一些优势,因为它们成本低、照射面积大且易于使用,尤其是在设想大规模工业过程时。
汞灯(λ=253.7nm)是广泛传播的紫外线源,但其生产、使用和处理旧灯对人类健康和环境污染构成威胁。与常用的汞灯相比,准分子灯具有许多优点。准分子的一个特定特征是在基电子态中不存在强键。因此,可以从等离子体中提取高强度紫外线,而不会产生明显的自吸收。这使得可以有效地将沉积到活性介质的能量转化为紫外线。
安顺172nm准分子灯表面质改
准分子灯被称为紫外线的冷源,因为与传统的紫外线灯(如汞灯)相比,准分子灯的表面保持在相对较低的温度。由于介质不需要加热,准分子灯在打开后几乎立即达到峰值输出。
稀有气体和稀有气体卤化物准分子灯通常在紫外(UV)和真空紫外(VUV)光谱区。它们特的窄带发射特性、高**效率和高能光子使其适用于吸收光谱、紫外线固化、紫外线涂层、消毒、臭氧产生、气态**废物破坏、光刻和光刻等应用。沉积和更多其他应用。
我们全体员工以饱满的热情,期待与五湖四海的新老朋友合作。一直秉承满足用户需求,至真至诚,着眼现在,放眼未来的经营理念。
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