生产厂家 172nm准分子光CVD

与传统的汞紫外灯相比，准分子紫外灯具有强度、准确靶向、无汞害、环保、可回收利用、**次污染等优点，克服了现有技术的瓶颈，并以其高能量密度、低反应温度、大反应面积、短反应时间等优异特性，在微电子、医学、材料科学和环境保护领域得到了广泛而特的应用。
准分子灯功能应用
1、增加表面能量和亲水性
表面能以每米毫牛顿 (mN/m) 为单位。表面能决定了流体和固体表面之间的接触角。准分子光清洗作为其他清洗设备对表面处理的替代品，准分子的冷光大减少了类似红外线等产生的多余热量。这种降低的热负荷意味着不会损坏基材表面结构，从而保证更好的粘接结果为了确保附着力和均匀分布。例如在印刷和粘合等应用中，需要实现更小的接触角，提高清洁度。
虽然聚合物和其他复合材料的表面辐照可能是准分子常用的用途，但这种处理也几乎适用于任何表面。将准分子技术应用于硅晶片、金属和玻璃时，清洁、涂层和粘合也可以得到显着改善。
2、更广泛的应用范围
在某些情况下，可以实现完全亲水化，其中整个表面变得润湿。此时，液体的接触角达到零度，将液滴转化为液膜。目前，准分子灯正用于生态学、光化学、光生物学、医学、物理学、微电子学以及包括智能制造工业在内的各种工业分支等等。

172 nm波长准分子灯应用领域：
波长为172nm的准分子真空紫外光子能量高达7.2 eV，足以打开大多数分子键，能实现传统低压汞灯很难或根本不能实现的光化学反应，可广泛应用于：
□ 表面清洗。可用于晶圆和平板显示器制造的清洗过程，清洗掩摸，去除光刻胶；
□ 表面刻蚀和改性（如聚酰亚胺，氟材料等）；
□ 低温光化学气相沉积(Photo-CVD)。如电子薄膜Ta2O5和HfO2等；
□ 光氧化、光退火。如对电子薄膜SiO2进行处理以改善其化学计量性；
□ 室温下光催化金属化。如在塑料表面镀金属电；
□ 表面活化，以增加表面张力和湿润性；
□ **降解。除总**碳（TOC）制取**纯水，分解农药残留，印染废水的光化学脱色；

准分子光源特点
1、单色性好，紫外输出能量集中，紫外输出强度高,可达100mW/cm²;
2、非相干光有利于大面积加工;
3、无传统光源固有的电腐蚀现象，使用寿命大加长;
4、可随时瞬间开启熄灭，*预热，*快门，开关次数不影响使用寿命;
5、开启和运行不受周围环境温度影响;
6、冷光源，不产生红外输出，对被处理对象无明显加热效应，适用于热敏材料处理;
7、绿色环保，制造*用汞，**次污染和废旧回收处理问题。

准分子光源特点：
□ 单色性好，紫外输出能量集中，紫外输出强度高，可达100mW/cm2；
□ 非相干光有利于大面积加工；
□ 无传统光源固有的电腐蚀现象，使用寿命大加长；
□ 可随时瞬间开启熄灭，*预热，*快门，开关次数不影响使用寿命；
□ 开启和运行不受周围环境温度影响；
□ 冷光源，不产生红外输出，对被处理对象无明显加热效应；
□ 绿色环保。制造*用汞，**次污染和废旧回收处理问题。
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