合肥紫外线准分子灯晶圆清洗 生产厂家

准分子灯，又称紫外线准分子灯，通过采用准分子气体配比获得不同单色波长，如172nm、222nm或308nm等高强度的准分子紫外光。准分子发射的紫外线光具有单光谱特性，狭窄的光谱线和单色紫外光谱使得它能用更集中的功率来进行光处理。
准分子是一种在激发态结合而基态离解的受激二聚体。准分子激光的跃迁发生在束缚的激发态到排斥的基态，属于束缚 – 自由跃迁。其特点是基态不稳定，一般在振动弛豫时间内便分解为自由粒子，而其激发态以结合的形式出现并相对稳定，以的形式衰减，因而准分子激光具有高增益的特点。准分子激光器是紫外波段大能量激光光源，是一种脉宽为几十纳秒的紫外气体激光器。由于具有光子能量高、波长短、空间相干性低（不易产生干涉条纹）等一系列优势，准分子激光是目前有效、适合大规模工业生产的深紫外光源，在集成电路光刻、医疗、材料加工、科研等领域具有广泛的应用。

准分子光源作用原理
基于准分子光源特点，我们来看看准分子光源是如何产生作用的。以准分子波长172 nm为例，紫外线照射固体表面后，表面的污染物**分子结合被强的光能切断、氧化，而后分解成氧气和氢气等易挥发性物质，终挥发消失，被清洗后的表面清洁度高。
1、打破分子键
打破**物质的分子键的能量需要**过物质结合能的光能，同时物质的能量吸收(激发)越大，越容易引发反应(分解)并且所需的处理时间越短。因此使用低压紫外线灯无法打破的结合能可以使用准分子灯产生的 172nm 波长进行分解。
2、大量产生激发态氧原子
准分子紫外线灯与传统汞紫外线灯比较，光强**大，靶向，无汞制造，绿色环保，可回收，没有污染。与低压紫外灯的185nm波长相比，准分子灯172nm波长的分子氧吸收系数大20倍左右。这不仅可以产生高密度的活性氧，而且通过直接作用于氧气，可以产生具有强大氧化能力的强激发氧。

准分子光源特点
1、单色性好，紫外输出能量集中，紫外输出强度高,可达100mW/cm²;
2、非相干光有利于大面积加工;
3、无传统光源固有的电腐蚀现象，使用寿命大加长;
4、可随时瞬间开启熄灭，不用预热，开关次数不影响使用寿命;
5、开启和运行不受周围环境温度影响;
6、冷光源，不产生红外输出，对被处理对象无明显加热效应，适用于热敏材料处理;
7、绿色环保，制造不需用汞，没有二次污染和废旧回收处理问题。

准分子灯照射uv涂料消光原理？
破坏涂膜的光滑性，增大涂膜的表面微观粗糙度，降低涂膜表面对光线的反射。
UV准分子放电灯，又称紫外线准分子灯，是利用在紫外线灯管外的高压、高频对灯管内的稀有气体进行轰击发出单一的172nm紫外线，光子能量达696KJ/mol，**绝大多数**分子键能。利用其单一的高强紫外线，可实现很好的半导体、液晶屏制造中的光清洗、光改性，处理效果好，速度快。
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