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广东准分子光电科技有限公司172nm准分子灯JSR自1979年4月开始销售光刻胶以来,以满足半导体行业的需求为宗旨,40多年来不断的向**客户提供着提供光刻材料、CMP材料和封装材料。 JSR在致力于解决**客户问题的同时,半导体材料的销售额也随之稳步增长。 我们将继续以在日本开发的技术为基础,应对各种半导体工艺上的课题挑战,为半导体市场的增长做出重大贡献

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产品描述

波长172nm 长度50-2500mm 管径15-44mm 强度50-100mw/cm2 寿命1500-2000小时 功率20-2500瓦 冷却方式水冷/气冷 氮气吹扫可选
准分子灯具有选择性作用。给定波长的紫外线可以选择性地激发物种或产生所需的自由基。此类灯可用于光物理和光化学处理,例如油漆、清漆和粘合剂的紫外线固化、清洁和修改表面特性、漆和油漆的聚合以及各种污染物的光降解。可以使用不同的波长对聚合物进行光蚀刻:氙准分子为172nm,氯化氪为222nm,氯化氙为308nm。准分子紫外光源可用于微结构化大面积聚合物表面。
准分子灯的优点
准分子灯相对于其他紫外线和真空紫外线源的主要优点如下:
紫外线的高平均比功率(每立方厘米活性介质高达1瓦特);
发射光子的高能量(从3.5到11.5eV);
半高光谱全宽为2至15nm的准单色;
紫外线的高功率光谱密度;
为特定目的选择紫外线的xxx光谱波长;
由于多种工作准分子的同时激发,多波紫外线的可用性;
没有可见光和红外;
即时实现操作模式;
面发热低;
不含汞。
宁波172nm准分子灯表面清洗
准分子光源作用原理
基于准分子光源特点,我们来看看准分子光源是如何产生作用的。以准分子波长172 nm为例,紫外线照射固体表面后,表面的污染物**分子结合被强的光能切断、氧化,而后分解成氧气和氢气等易挥发性物质,终挥发消失,被清洗后的表面清洁度高。
1、打破分子键
打破**物质的分子键的能量需要**过物质结合能的光能,同时物质的能量吸收(激发)越大,越容易引发反应(分解)并且所需的处理时间越短。因此使用低压紫外线灯无法打破的结合能可以使用准分子灯产生的 172nm 波长进行分解。
2、大量产生激发态氧原子
准分子紫外线灯与传统汞紫外线灯比较,光强**大,靶向准,无汞制造,绿色环保,可回收,没有二次污染。与低压紫外灯的185nm波长相比,准分子灯172nm波长的分子氧吸收系数大20倍左右。这不仅可以产生高密度的活性氧,而且通过直接作用于氧气,可以产生具有强大氧化能力的强激发氧。
宁波172nm准分子灯表面清洗
准分子灯被称为紫外线的冷源,因为与传统的紫外线灯(如汞灯)相比,准分子灯的表面保持在相对较低的温度。由于介质不需要加热,准分子灯在打开后几乎立即达到峰值输出。
稀有气体和稀有气体卤化物准分子灯通常在紫外(UV)和真空紫外(VUV)光谱区。它们特的窄带发射特性、高**效率和高能光子使其适用于吸收光谱、紫外线固化、紫外线涂层、消毒、臭氧产生、气态**废物破坏、光刻和光刻等应用。沉积和更多其他应用。
宁波172nm准分子灯表面清洗
172nm准分子灯的特点:
1、红外线发生量少,低温照射;
2、可瞬间点灯,节省待机准备时间;
3、放电管内不充入汞等有害物质,对环境不产生影响;
4、波长短,发光效率高,可产生高能光子,打破分子键,实现光清洗以及光改性;我们拥有好的设计团队,可根据您的现有设备定制功率、长度和直径,选取优良材料制造,质量严格把关。
我们全体员工以饱满的热情,期待与五湖四海的新老朋友合作。一直秉承满足用户需求,至真至诚,着眼现在,放眼未来的经营理念。
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