准分子灯,又称紫外线准分子灯,通过采用准分子气体配比获得不同单色波长,如172nm、222nm或308nm等高强度的准分子紫外光。准分子发射的紫外线光具有单光谱特性,狭窄的光谱线和单色紫外光谱使得它能用更集中的功率来进行光处理。与传统汞紫外线灯比较,准分子紫外线灯光强**大,靶向,无汞危害,绿色环保,可回收,克服现有技术瓶颈,以其高能量密度、低反应温度、大反应面积、反应时间短的**特性,在微电子、医学、材料科学和环境保护等领域获得广泛和特的应用。
172nm准分子灯的特点:
1、红外线发生量少,低温照射;
2、可瞬间点灯,节省待机准备时间;
3、放电管内不充入汞等有害物质,对环境不产生影响;
4、波长短,发光效率高,可产生高能光子,打破分子键,实现光清洗以及光改性;我们拥有好的设计团队,可根据您的现有设备定制功率、长度和直径,选取优良材料制造,质量严格把关。
在紫外光谱区发射的光源广泛用于涉及光化学过程的技术,例如油墨、粘合剂、清漆和涂层的固化、光刻、电介质的紫外诱导生长、紫外诱导表面改性和清洁或材料沉积。非相干紫外源与激光源相比具有一些优势,因为它们成本低、照射面积大且易于使用,尤其是在设想大规模工业过程时。
汞灯(λ=253.7nm)是广泛传播的紫外线源,但其生产、使用和处理旧灯对人类健康和环境污染构成威胁。与常用的汞灯相比,准分子灯具有许多优点。准分子的一个特定特征是在基电子态中不存在强键。因此,可以从等离子体中提取高强度紫外线,而不会产生明显的自吸收。这使得可以有效地将沉积到活性介质的能量转化为紫外线。
准分子灯的优点
准分子灯相对于其他紫外线和真空紫外线源的主要优点如下:
紫外线的高平均比功率(每立方厘米活性介质高达1瓦特);
发射光子的高能量(从3.5到11.5eV);
半高光谱全宽为2至15nm的准单色;
紫外线的高功率光谱密度;
为特定目的选择紫外线的xxx光谱波长;
由于多种工作准分子的同时激发,多波紫外线的可用性;
没有可见光和红外;
即时实现操作模式;
面发热低;
不含汞。
准分子灯被称为紫外线的冷源,因为与传统的紫外线灯(如汞灯)相比,准分子灯的表面保持在相对较低的温度。由于介质不需要加热,准分子灯在打开后几乎立即达到峰值输出。
稀有气体和稀有气体卤化物准分子灯通常在紫外(UV)和真空紫外(VUV)光谱区。它们特的窄带发射特性、高**效率和高能光子使其适用于吸收光谱、紫外线固化、紫外线涂层、消毒、臭氧产生、气态**废物破坏、光刻和光刻等应用。沉积和更多其他应用。
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主要经营广东准分子光电科技有限公司172nm准分子灯JSR自1979年4月开始销售光刻胶以来,以满足半导体行业的需求为宗旨,40多年来不断的向**客户提供着提供光刻材料、CMP材料和封装材料。 JSR在致力于解决**客户问题的同时,半导体材料的销售额也随之稳步增长。 我们将继续以在日本开发的技术为基础,应对各种半导体工艺上的课题挑战,为半导体市场的增长做出重大贡献。
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